Назначение
Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ (далее по тексту - установка) предназначена для измерения потока газа в вакууме, а также для поверки (калибровки) мер потока (гелиевых течей).
Описание
Установка представляет собой вакуумную систему с измерительным и сравнительным объемом, к которым присоединены два эталонных вакуумметра, масс-спектрометрический компаратор, эталонные меры потока газа в вакууме, являющиеся основными метрологическими узлами установки и обеспечивающие диапазон ее измерений.
Установка реализует два принципа измерений. Принцип накопления, основанный на измерении эталонными вакуумметрами изменений абсолютного давления во времени в измерительном объеме установки. Принцип компарирования, основанный на сравнении при помощи масс-спектрометрического компаратора измеряемого потока газа (гелия) от поверяемой (калибруемой) течи с известным потоком газа (гелия) от эталонной меры потока газа в вакууме.
Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. Управление установкой осуществляется с помощью органов управления, расположенных на панели ее корпуса.
Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.
Программное обеспечение
отсутствует.
Технические характеристики
Таблица 1 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений потока газа в вакууме, Па м /с | от 110-11 до 110-5 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины - в диапазоне от 1-10" до 1-10" Па м/с включ. 9 5 3 - в диапазоне свыше 1-10 до 1-10 Па м /с | ±(15-5109Qu3m)* ±(10-5 105Qu3m)* |
| 3 * где Qusm - значение измеренного потока, Па м /с |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Параметры электрического питания: | |
| - напряжение переменного тока, В | 220±22 |
| - частота переменного тока, Гц | 50±1 |
| Потребляемая мощность, кВ-А, не более | 2,5 |
| Г абаритные размеры, мм, не более | |
| - длина | 800 |
| - ширина | 1400 |
| - высота | 1400 |
| Масса, кг, не более | 300 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающей среды, °С | от +15 до +25 |
| - относительная влажность, % | от 40 до 80 |
| - атмосферное давление, кПа | от 84 до 106,7 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 10000 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Кол-во |
| Установка вакуумная потокометрическая эталонная | УВПЭ | 1 шт. |
| Компрессор | - | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. |
| Комплект запасных частей и принадлежностей | - | 1 компл. |
| Методика поверки | МП 231-0045-2017 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 231-0045-2017 «Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 28.03.2017 г.
Основные средства поверки:
Г осударственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па-м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Пам3/с не более
9 3
(0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10 до 1 Па м /с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности Техническая документация изготовителя
67708-17: Методика поверки МП 231-0045-2017Скачать2.8 Мб