Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1

Основные
Тип
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год

Назначение и областъ применения:

Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 (далее -установка) предназначены для визуального обнаружения дефектов и измерения размеров топологии изделий микроэлектроники, которая сформирована на масках фотошаблонов (ФШ), защищенных с двух сторон пелликлами или ца полупроводниковых пластинах (П11) в технологическом процессе их производства.

Область применения - промышленные предприятия и научно-исследовательские ор^низации, произво;1ЯЩие микроэлектронные приборы и исследующие гополотю микроструктур на поверхности прозрачных и непрозрачных подложек.

Описание:

Принцип работы установки основан на методе микроскопии, используемом в режимах светлого ноля проходящего или отраженного света и их комбинации, а также в режиме темного ноля и его комбинации со светлым нолем. Выбрагшый участок наблюдаемого объекта проецируется оптической системой микроскопа в окуляры и на видеокамеру. Цифровое изображение выбранного участка выводится на экран монитора. Второй монитор является интерфейсом оператора для задания режимов рабагы и обработки данных. Перемещение наблюдаемого объекта но заданным координатам в ручном или автоматическом режиме осущес'гвляе'гся предметным столом микроскопа. Установка имеет возможность контролирован» ФШ (или 1III) с размерами, используемыми в полупроводниковой промышленности, для чего применяют сменные шаблонодсржатсли и держатели пластин. С помощью iipoipaM-много обеспечения Upr6015.exe оператор осуществляет выбор режимом работы и управление работой установки.

Фото1рафия общего вида средств измерений представлена в приложении 1.

Схема (рисунок) с указанием места для нанесения знака поверки срсдсгв измерений представлена в приложении 2.

Обязательные метролотческие требования: представлены в таблице 1. Таблица 1

Наименование

Значение

11рсдел среднего квадратического отклонения

Описание

результатов измерении линсиных размеров, мкм,

для объектива увеличением

5 крат

0,030

10 крат

0,020

50 краг

0,015

Пределы относительной noipeiiiocm измерений 2

линейных размеров но координатным осям Хи У для

всех объекгивов, %

Замтлавнорб^хгалт^з^^Х^^-Бандурин

Основные технические характеристики и метрологические характеристики, не относящиеся к обязательным метрологическим требованиям: представлены в таблицах 2,3.

Таблица 2

Наименование

Значение

Диапазоны измерений для координаты X, мкм, для объектива увеличением

5 крат

от 6 до 2500

10 крат

от 3 до 1200

50 крат

от 1,5 до 250

Диапазоны измерений для координаты Y, мкм, для объектива увеличением

д

5 крат

от 6 до 1200

10 крат

от 3 до 700

50 крат

от 1,5 до 120

Таблица 3

Наименование

Значение

Количество объективов, шт.

3

Рабочий отрезок объективов, мм, не менее

10

Диагональ поля зрения на минимальном увеличении, мм, не менее

3

Общее увеличение при наблюдении через окуляры, крат, не более

500

Общее увеличение при наблюдении на мониторе, крат, не более

* 2000

Ход координатного стола по координатным осям X, Y, мм, не менее

200x200

Диапазон напряжения питания от сети переменного тока номинальной частотой 50 Гц, В

от 207 до 253

Потребляемая мощность, кВт, не более

0,2

Условия эксплуатации:

диапазон температуры окружающего воздуха, °С; относительная влажность окружающего воздуха при 25 °С, %, не более

от 20 до 24 80

Комплектность: представлена в таблице 4.

Таблица 4

Наименование

Количество

Установка автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 в составе:

1

управляющий компьютер с мониторами UHD 24 и SXGA 19

1

микроскоп МКМ-1 с цветной видеокамерой разрешением 8,9 Мп

стол оператора

1

Руководство по эксплуатации

1

Руководство оператора ^

1

Место нанесения знака утверждения типа средств измерений: на титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю нанель установки.

Поверка осуществляется по МРБ Ml 1.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».

Сведения о методиках (методах измерений): приведены в руководстве но эксплуатации.

Технические нормативные правовые акты и технические документы,- устанавливающие:

требования к типу средств измерений:

технические условия ТУ BY 100104965.135-2022;

технический регламент Таможенного союза «Электромаптитная совместимость технических средств» (ТР ТС 020/2011);

технический регламент Таможенного союза «О безопасности низковольтного оборудования» (ТР ТС 004/2011); методику поверки:

МРБ M1I.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».

Перечень средств поверки: представлен в таблице 5.

Таблица 5______

Наименование и тип средств поверки

Объект-микрометр отраженного света ОМ

Гшромегр-термометр цифровой TUB 1

Примечание - Допускается применять другие средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик установки с требуемой точностью.___

Идентификация программного обеспечения: представлена в таблице 6.

Таблица 6

Идентификационное наименование ПО

Номер версии 110 (идентификационный номер)

Upr6015.exe

не ниже 1.0*

*Г1ри условии отсутствия влияния на метрологические характеристики

Заключение о соответствии утвержденного тана средств измерений 'гребованиям технических нормативных правовых актов и/или технической документации производителя: установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 соответствуют ТУ BY 100104965.135-2022, ТР ТС 020/2011, ТР ТС 004/2011.

Производитель средств измерений

ОАО «Планар» Республика Беларусь, г. Минск, Партизанский проспект, 2, корп. 2-31. тел. +375 (17) 297-37-09, 223-71-28.

Уполномоченное юридическое лицо, проводившее испытания средств измерений/ метрологическую экспертизу единичного экземпляра средств измерений:

БелГИМ Республика Беларусь, г. Минск, Старовиленский тракт, 93 Телефон: +375 17 374-55-01, факс: +375 17 244-99-38 e-mail: info@belgim.bv

Приложения: 1. Фотография общего вида средств измерений на 1 листе.

2. Схема (рисунок) с указанием места для нанесения знака поверки средств измерений на 1 листе.

А.В. Казачок

Директор БелГИМ

ВЕРН

Зам.главно

Приложение 1 (обязательное)

Фого1рафия общего вила средства измерений

Развернуть полное описание