Назначение и областъ применения:
Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 (далее -установка) предназначены для визуального обнаружения дефектов и измерения размеров топологии изделий микроэлектроники, которая сформирована на масках фотошаблонов (ФШ), защищенных с двух сторон пелликлами или ца полупроводниковых пластинах (П11) в технологическом процессе их производства.
Область применения - промышленные предприятия и научно-исследовательские ор^низации, произво;1ЯЩие микроэлектронные приборы и исследующие гополотю микроструктур на поверхности прозрачных и непрозрачных подложек.
Описание:
Принцип работы установки основан на методе микроскопии, используемом в режимах светлого ноля проходящего или отраженного света и их комбинации, а также в режиме темного ноля и его комбинации со светлым нолем. Выбрагшый участок наблюдаемого объекта проецируется оптической системой микроскопа в окуляры и на видеокамеру. Цифровое изображение выбранного участка выводится на экран монитора. Второй монитор является интерфейсом оператора для задания режимов рабагы и обработки данных. Перемещение наблюдаемого объекта но заданным координатам в ручном или автоматическом режиме осущес'гвляе'гся предметным столом микроскопа. Установка имеет возможность контролирован» ФШ (или 1III) с размерами, используемыми в полупроводниковой промышленности, для чего применяют сменные шаблонодсржатсли и держатели пластин. С помощью iipoipaM-много обеспечения Upr6015.exe оператор осуществляет выбор режимом работы и управление работой установки.
Фото1рафия общего вида средств измерений представлена в приложении 1.
Схема (рисунок) с указанием места для нанесения знака поверки срсдсгв измерений представлена в приложении 2.
Обязательные метролотческие требования: представлены в таблице 1. Таблица 1
| Наименование | Значение |
| 11рсдел среднего квадратического отклонения | Описание |
| результатов измерении линсиных размеров, мкм, | |
| для объектива увеличением | |
| 5 крат | 0,030 |
| 10 крат | 0,020 |
| 50 краг | 0,015 |
| Пределы относительной noipeiiiocm измерений 2 | |
| линейных размеров но координатным осям Хи У для | |
| всех объекгивов, % | |
Замтлавнорб^хгалт^з^^Х^^-Бандурин
Основные технические характеристики и метрологические характеристики, не относящиеся к обязательным метрологическим требованиям: представлены в таблицах 2,3.
Таблица 2
| Наименование | Значение |
| Диапазоны измерений для координаты X, мкм, для объектива увеличением | |
| 5 крат | от 6 до 2500 |
| 10 крат | от 3 до 1200 |
| 50 крат | от 1,5 до 250 |
| Диапазоны измерений для координаты Y, мкм, для объектива увеличением | д |
| 5 крат | от 6 до 1200 |
| 10 крат | от 3 до 700 |
| 50 крат | от 1,5 до 120 |
Таблица 3
| Наименование | Значение |
| Количество объективов, шт. | 3 |
| Рабочий отрезок объективов, мм, не менее | 10 |
| Диагональ поля зрения на минимальном увеличении, мм, не менее | 3 |
| Общее увеличение при наблюдении через окуляры, крат, не более | 500 |
| Общее увеличение при наблюдении на мониторе, крат, не более | * 2000 |
| Ход координатного стола по координатным осям X, Y, мм, не менее | 200x200 |
| Диапазон напряжения питания от сети переменного тока номинальной частотой 50 Гц, В | от 207 до 253 |
| Потребляемая мощность, кВт, не более | 0,2 |
| Условия эксплуатации: диапазон температуры окружающего воздуха, °С; относительная влажность окружающего воздуха при 25 °С, %, не более | от 20 до 24 80 |
Комплектность: представлена в таблице 4.
Таблица 4
| Наименование | Количество |
| Установка автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 в составе: | 1 |
| управляющий компьютер с мониторами UHD 24 и SXGA 19 | 1 |
| микроскоп МКМ-1 с цветной видеокамерой разрешением 8,9 Мп | |
| стол оператора | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Руководство оператора ^ | 1 |
Место нанесения знака утверждения типа средств измерений: на титульный лист руководства по эксплуатации и на заднюю нанель установки.
Поверка осуществляется по МРБ Ml 1.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».
Сведения о методиках (методах измерений): приведены в руководстве но эксплуатации.
Технические нормативные правовые акты и технические документы,- устанавливающие:
требования к типу средств измерений:
технические условия ТУ BY 100104965.135-2022;
технический регламент Таможенного союза «Электромаптитная совместимость технических средств» (ТР ТС 020/2011);
технический регламент Таможенного союза «О безопасности низковольтного оборудования» (ТР ТС 004/2011); методику поверки:
МРБ M1I.3346-2022 «Система обеспечения единства измерений Республики Беларусь. Установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1. Методика поверки».
Перечень средств поверки: представлен в таблице 5.
Таблица 5______
Наименование и тип средств поверки
Объект-микрометр отраженного света ОМ
Гшромегр-термометр цифровой TUB 1
Примечание - Допускается применять другие средства поверки, обеспечивающие определение метрологических характеристик установки с требуемой точностью.___
Идентификация программного обеспечения: представлена в таблице 6.
Таблица 6
| Идентификационное наименование ПО | Номер версии 110 (идентификационный номер) |
| Upr6015.exe | не ниже 1.0* |
| *Г1ри условии отсутствия влияния на метрологические характеристики |
Заключение о соответствии утвержденного тана средств измерений 'гребованиям технических нормативных правовых актов и/или технической документации производителя: установки автоматизированного контроля дефектности ЭМ-6015М1 соответствуют ТУ BY 100104965.135-2022, ТР ТС 020/2011, ТР ТС 004/2011.
Производитель средств измерений
ОАО «Планар» Республика Беларусь, г. Минск, Партизанский проспект, 2, корп. 2-31. тел. +375 (17) 297-37-09, 223-71-28.
Уполномоченное юридическое лицо, проводившее испытания средств измерений/ метрологическую экспертизу единичного экземпляра средств измерений:
БелГИМ Республика Беларусь, г. Минск, Старовиленский тракт, 93 Телефон: +375 17 374-55-01, факс: +375 17 244-99-38 e-mail: info@belgim.bv
Приложения: 1. Фотография общего вида средств измерений на 1 листе.
2. Схема (рисунок) с указанием места для нанесения знака поверки средств измерений на 1 листе.
А.В. Казачок
Директор БелГИМ
ВЕРН
Зам.главно
Приложение 1 (обязательное)
Фого1рафия общего вила средства измерений
87927-23: Методика поверкиСкачать6.9 Мб