Назначение
Вакуумметры электронные со встроенным дисплеем СС-10 и MPxxR (далее - вакуумметры) производства фирмы «Televac A Division of The Fredericks Company», предназначены для измерения абсолютного давления в диапазоне от 103 до 10'9 мм рт.ст. (от 7,6 до 7,6x10'11 Па).
Вакуумметры предназначены для измерения абсолютного давления при значениях температур окружающего воздуха: от плюс 15 °C до плюс 50 °C (для серии MPxxR) и от 0 °C до плюс 50 °C (для серии СС-10), с относительной влажностью не более 80 %, при отсутствии тряски, вибрации и магнитного поля.
Область применения: использование в составе промышленных и исследовательских вакуумных установках, вакуумных печах, ускорителях и сверхвысоковакуумных исследовательских установках, а также использование на объектах электронной, оптоэлектронной, химической и текстильной промышленности.
Описание
Для измерения абсолютного давления в вакуумметре серии СС-10 используется два датчика: кристаллический кварцевый датчик для работы в диапазоне (760 ... 10'2) мм рт.ст. и двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом для работы в диапазоне (10’2 ... 10’9) мм рт.ст. Для настройки вакуумметра используется миниатюрная сенсорная панель управления. Показания давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее. Вакуумметр серии СС-10 оснащен линейным выходом (0 ... 10) В и цифровым интерфейсом RS 485.
Для измерения абсолютного давления в вакуумметрах моделей: MP7ER и MP7FR используются двойные инверсно-магнетронные датчики с холодным катодом: 7Е или 7F. Компактные размеры вакуумметров MP7ER и MP7FR позволяют установить их практически в любом месте и в любом положении. Активный датчик со встроенной электроникой позволяет измерять абсолютное давление без использования дополнительных средств отображения и контроля. Вакуумметры оснащены линейным выходом (0 ... 10) В и цифровым интерфейсом.
Низковакуумный кристаллический кварцевый датчик, встроенный в вакуумметр серии СС-10, представляет собой кварцевый осциллятор и измеряет электрический импеданс. Электрический импеданс кварцевого осциллятора зависит от давления газа действующего на датчик, т.к. газ, действуя на поверхность осциллятора, оказывает сопротивление колебаниям.
Двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом, встроенный в вакуумметры СС-10, MP7ER и MP7FR, измеряет абсолютное давление, ионизируя остаточный газ в ионизационной камере. Цилиндрический корпус датчика используется как катод и на него подаётся нулевой потенциал, а на анод расположенный в центре ионизационной камеры при работе подаётся потенциал более +4000 Вольт. Магнитная система удерживает свободные электроны в области датчика, заставляя двигаться по эпициклоидам внутри цилиндрического катода и при столкновениях с молекулами газа, вызывают его ионизацию. Ионы, взаимодействуя с катодом, вызывают эмиссию вторичных электронов, ток которых пропорционален ионному току.
Для измерения абсолютного давления в вакуумметре модели MP2AR используется термопарный датчик 2А, а в вакуумметре модели MP4AR используется конвекционный датчик 4А. Вакуумметры MP2AR и MP4AR имеют компактные размеры и встроенную электронику, что позволяет проводить измерения, без использования дополнительных средств отображения и контроля. Вакуумметры оснащены линейным выходом (0 ... 10) В и цифровым интерфейсом.
Термопарный вакуумный датчик, встроенный в вакуумметр MP2AR, состоит из корпуса, в котором находится нить накаливания, по которой пропускается постоянный ток. Термопара приварена к центру нагревательного элемента, обеспечивает прямое измерение температуры. При любом значение постоянного тока, прошедшего через нить накаливания температура нити увеличивается, как только абсолютное давление понижается. ЭДС термопары прямо пропорционально увеличению температуры нити накаливания, и таким образом напряжение на термопаре увеличивается при понижении давления.
Конвекционный вакуумный датчик, встроенный в вакуумметр MP4AR, измеряет абсолютное давление при помощи определения теплоотдачи от нити накаливания, при поддержании постоянной температуры.
Технические характеристики
Таблица 1.
| Наименование характеристики | серии: |
| СС-10 | MPxxR |
| модели: |
| MP7ER | MP7FR | MP2AR | MP4AR |
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
| Тип вакуумного датчика - | кристаллический кварцевый | двойной инверсно-магнетронный | термопарный | конвекционный |
| Диапазон измерений, мм рт.ст. - | 760 ... 10’2 | 10’3... ... 10’9 | 10'2... ... ю-9 | 10‘2... ... 10‘8 | 20 ... 10’3 | 103 ... 10'3 |
| Предел допускаемой относительной погрешности, % | ± 15 | - | - | - | ±20 в диапазоне (20... 10’1) мм рт.ст. | ±20 в диапазоне (120...50) мм рт.ст. |
3
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 1 |
| | | ± 10% в диапазоне (10’1 ... 10'2) мм рт.ст.; | ± 10% в диапазоне: (103...120)и (1 ... 104) мм рт.ст.; мм рт.ст. |
| Предел допускаемой приведенной погрешности - | - | ± 0,2 от отображаемой декады | - | - |
| Предел допускаемой абсолютной погреш-ности, мм рт.ст. - | - | - | ± 0,001 в диапазоне (10‘2... 10’3) мм рт.ст. | ± 0,001 в диапазоне (IO’2... 10'3) мм рт.ст. |
| Аналоговый выходной сигнал, В | 0 ... 10 |
| Напряжение питания, В | 22 ... 26 | 24 (при 250 мА) | 24 (при 100 мА) |
| Габаритные размеры: диаметр х высота, не более мм - ширинахдлинах высота, не более мм - | 94,0 х 70,0 х 160,0 | 69,9 х 147,6 | 69,9 х 105,4 |
| Масса, не более кг - | 0,699 | 0,55 | 0,48 |
| Диапазон рабочих температур, °C - | 0...50 | 15 ... 50 |
| Относительная влажность, % - | 30 ... 80 |
| Полный срок службы, не более лет - | 15 |
ЗНАК УТВЕЖДЕНИЯ ТИПА
Знак утверждения типа наносится методом фотопечати или каучуковым штампом на корпус вакуумметра.
Комплектность
В комплект поставки входят:
| • вакуумметр электронный со встроенным дисплеем - • кабель (параметры указываются при заказе) - • руководство по эксплуатации - | 1 комплект; 1 шт.; 1 экз. |
Поверка
Поверка вакуумметров электронных осуществляется в соответствии с МИ 140-89 “ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки”
Межповерочный интервал -1 год.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1х10’8-е- 1х103Па»;
ГОСТ 27758-88 «Вакуумметры. Общие технические условия»;
Документация фирмы «Televac A Division of The Fredericks Company», США.
Заключение
Тип вакуумметров электронных со встроенным дисплеем серий С-110 и MPxxR утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен при ввозе и в процессе эксплуатации согласно государственной поверочной схеме.
Вакуумметры электронные со встроенным дисплеем серии С-110 и MPxxR имеют:
- сертификат соответствия № РОСС US.ML10.B10224 от 30.06.2009г., выданный Органом по сертификации продукции ООО «ЭРРИ-ТЕСТ» (регистрационный № РОСС RU.0001.11MJI10);
- протокол испытаний № 42-17-05/08 от 29.06.2009г., выданный ИЛ ЭТИ (ЭКСПЕРТ), регистрационный № РОСС RU.0001.21MЛ36.
