Назначение
Вакуумметры серии IKR (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Описание
Принцип действия основан на зависимости тока самостоятельного газового разряда, возникающего в результате ионизации молекул газа в скрещенных магнитном и электрическом полях от давления.
Ионизация молекул газа происходит в результате столкновений электронов, вылетающих из катода в результате автоэлектронной эмиссии и движущихся по спиральной траектории в скрещенных электрическом и магнитном поле, с молекулами газа. Положительные ионы газа, образовавшиеся в результате столкновений с электронами, движутся к катоду, в результате чего возникает ионный ток. Количество ионизированных молекул газа, а, следовательно, и возникающий ионный ток, пропорциональны давлению.
Конструктивно вакуумметр состоит из магнитного электроразрядного датчика (далее - датчик), соединенного электрическим кабелем с контроллером.
Вакуумметры выпускаются в следующих модификациях: IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 251, IKR 270 PT R21 261, IKR 360 PT T00 140 01х (х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии), IKR 360 PT T00 150 01х (х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии), IKR 360 PT T00 350 01х (х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 140 01х (х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 150 01х (х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 350 01х (х = 0 - без защиты от коррозии; х = 1 - с защитой от коррозии).
Модификации отличаются диапазоном измерений, погрешностью, внешним видом, видом присоединительного фланца, габаритными размерами, массой, комплектностью и характеристиками питания. В перечисленных выше вакуумметрах применяются контроллеры TPG 361, TPG 362, TPG 366, DCU, используемые для выбора единицы измерений давления, приема, обработки и отображения измерительной информации, формирования выходных сигналов, передачи данных, включения/выключения реле блокировок с целью выключения прибора при превышении допустимого давления, автоматической диагностики состояния прибора, вывода на экран контроллера сообщений об ошибках.
В качестве единицы измерений давления используется Па. При необходимости в качестве единиц измерений могут быть использованы: мбар, мм рт.ст., гПа, Торр (1 Торр = 1,3-102 Па).
Пломбирование вакуумметров не предусмотрено.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 270 PT R21 251 представлен на рисунке 1.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261 представлен на рисунке 2.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 360 PT T00 140 010, IKR 360 PT T00 140 011, IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011, IKR 360 PT T00 350 010, IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01 140 010, IKR 361 PT T01 140 011, IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01 150 011, IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011 представлен на рисунке 3.
Общий вид одноканального контроллера TPG 361 представлен на рисунке 4.
Общий вид двухканального контроллера TPG 362 представлен на рисунке 5.
Общий вид шестиканального контроллера TPG 366 представлен на рисунке 6.
Общий вид контроллера DCU с возможностью управления турбомолекулярным насосом представлен на рисунке 7.
Рисунок 2 - Общий вид датчика вакуумметров IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261
Рисунок 3 - Общий вид датчика вакуумметров IKR 360 PT T00 140 010, IKR 360 PT T00 140 011, IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011, IKR 360 PT T00 350 010, IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01 140 010, IKR 361 PT T01 140 011, IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01 150 011, IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011
Рисунок 4 - Общий вид контроллера TPG 361 Рисунок 5 - Общий вид контроллера TPG 362
Рисунок 6 - Общий вид контроллера TPG 366 Рисунок 7 - Общий вид контроллера DCU
Программное обеспечение
Входящие в состав вакуумметров контроллеры имеют встроенное программное обеспечение (ПО), разработанное изготовителем специально для решения задач управления работой вакуумметров. ПО выполняет следующие функции:
- выбор единицы измерений давления;
- прием, обработка и отображение измерительной информации;
- формирование выходных сигналов;
- передача данных;
- включение/выключение реле блокировок для выключения вакуумметров при превышении допустимого давления;
- автоматическая диагностика состояния вакуумметров, вывод на экран контроллера сообщений об ошибках.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна: для контроллеров TPG 361, TPG 362 - нажатием кнопки «Параметры» на панели контроллера, далее - «TEST» - вкладка «SOFTWARE»; для контроллеров TPG 366 - однократным нажатием кнопки «Параметры» на панели контроллера при включении контроллера либо удерживанием кнопки «Параметры» в процессе эксплуатации контроллера, далее - «TEST» - вкладка «SOFTWARE VERSION»; для контроллеров DCU - выводом на экран рабочих параметров при включении контроллера.
Влияние ПО вакуумметров учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений вакуумметров - «низкий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | TPG 361; TPG 362 | TPG 366 | DCU |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | V010100 | V010100 | 010100 |
| Цифровой идентификатор ПО | - | - | - |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 251 PT R25 500 | IKR 251 PT R25 501 | IKR 251 PT R25 502 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 210-7 до 510-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1 10-5 до 1 10-1 | от 110"5 до 110-1 | от 110"6 до 1 10-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 251 PT R25 500 | IKR 251 PT R25 501 | IKR 251 PT R25 502 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 16,0 до 30,0 |
| Г абаритные размеры, мм, не более (диаметр хдлина) | 71,5x111 |
| Масса, кг, не более | 1,0 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 261 PT R25 750 | IKR 261 PT R25 751 | IKR 261 PT R25 761 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 210-7 до 510-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1 10-5 до 1 10-1 | от 1 10-6 до 1 10-1 | от 1 10-6 до 1 10-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 5 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 261 PT R25 750 | IKR 261 PT R25 751 | IKR 261 PT R25 761 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 15,0 до 30,0 |
| Г абаритные размеры, мм, не более (диаметрхдлина) | 71,5x111 | 71,5x111 | 71,5x216,5 |
| Масса, кг, не более | 1,2 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 270 IKR 270 PT R21 251 PT R21 261 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 5 10-9 до 5 10-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1 10-7 до 1 10-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 7 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 270 PT R21 251 | IKR 270 PT R21 261 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 |
| Г абаритные размеры, мм, не более (диаметрхдлина) | 71,5x111 | 71,5x216,5 |
| Масса, кг, не более | 1,2 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование характеристики | Значение |
| IKR 360 IKR 360 IKR 360 PT T00 140 010 PT T00 140 011 PT T00 150 010 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 1 10-7 до 5 10-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1 10'5 до 1 10-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 9 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 360 PT T00 140 010 | IKR 360 PT T00 140 011 | IKR 360 PT T00 150 010 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 |
| Габаритные размеры, мм, не более (высотах ширинахдлина) | 102x47x47 |
| Масса, кг, не более | 0,6 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 25 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 360 PT T00 150 011 | IKR 360 PT T00 350 010 | IKR 360 PT T00 350 011 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 1 10-7 до 5 10-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1 10-5 до 1 10-1 | от 1 10-6 до 110-1 | от 1 10-6 до 1 10-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 11 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 360 PT T00 150 011 | IKR 360 PT T00 350 010 | IKR 360 PT T00 350 011 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 |
| Габаритные размеры, мм, не более (высотах ширинахдлина) | 102x47x47 |
| Масса, кг, не более | 0,6 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 361 IKR 361 IKR 361 PT T01 140 010 PT T01 140 011 PT T01 150 010 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 110-7 до 510-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 110-5 до 110-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 13 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 361 PT T01 140010 | IKR 361 PT T01 140011 | IKR 361 PT T01 150010 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 |
| Габаритные размеры, мм, не более (высотах ширинахдлина) | 102x47x47 |
| Масса, кг, не более | 0,6 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 25 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 361 PT T01 150011 | IKR 361 PT T01 350 010 | IKR 361 PT T01 350 011 |
| Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 110-7 до 510-1 |
| Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1 10-5 до 1 10-1 | от 1 10-6 до 110-1 | от 1 10-6 до 1 10-1 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 15 - Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характери стики | Значение |
| IKR 361 PT T01 150011 | IKR 361 PT T01 350 010 | IKR 361 PT T01 350 011 |
| Параметры электрического питания: - напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 |
| Габаритные размеры, мм, не более (высота х ширина х длина) | 102x47x47 |
| Масса, кг, не более | 0,6 |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более - атмосферное давление, кПа | от +10 до +30 80 от 84 до 106,7 |
| Присоединительный фланец | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F |
| Средняя наработка на отказ, ч | 15000 |
| Средний срок службы, лет | 5 |
| Наименование | Значение |
| характери стики | TPG 361 | TPG 362 | TPG 366 | DCU |
| Количество каналов | 1 | 2 | 6 | 1 |
| Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц | от 100 до 240 от 50 до 60 | от 115 до 230 от 50 до 60 |
| Потребляемая мощность, В А, не более | 45 | 65 | 200 | 450 |
| Габаритные размеры, мм, не более (высотаx ширинаxдлина) | 128,5x70,8x227 | 128,5x213x161,5 | 128,5x106,7x245,0 |
| Масса, кг, не более | 1,1 | 2,2 | 2,3 |
Знак утверждения типа
наносится на корпус датчика вакуумметра фотохимическим или иным способом, на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 17 - Комплектность вакуумметров
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Вакуумметр в составе датчика и контроллера | в соответствии с заказом | 1 шт. |
| Кабель соединительный | в соответствии с заказом | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | в соответствии с заказом | 1 экз. |
| Руководство по эксплуатации на контроллер | в соответствии с заказом | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».
Основные средства поверки:
Рабочие эталоны давления 2 -го разряда в диапазоне от 1-10-8 до 1 Па, погрешность не более ±15 % в соответствии с ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 10'8^1 103 Па»
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке и/или руководство по эксплуатации.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1-10"8-1-103 Па
МИ 140-89 Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки Техническая документация фирмы Pfeiffer Vacuum GmbH, Германия
80739-20: Описание типа СИСкачать480.7 Кб