Назначение
Вакуумметры мембранно-емкостные CDG (далее по тексту - вакуумметры) предназначены для измерений абсолютного давления негорючих газов.
Вакуумметры могут применяться в качестве рабочих эталонов 2-го разряда по ГОСТ 8.107-81.
Описание
Принцип действия вакуумметров основан на зависимости между измеряемым давлением и изменением электрической емкости, вызванной упругой деформацией чувствительного элемента.
Конструктивно вакуумметр состоит из двух блоков - преобразователя абсолютного давления (далее - преобразователь) CDG025D или CDG045D и контроллера VGC50Х, соединенных кабелем.
Преобразователь подсоединяется непосредственно к вакуумной системе, измерительный сигнал от него передается по кабелю к контроллеру, где он обрабатывается и отображается на экране.
В преобразователях CDG045D, в отличии от преобразователей CDG025D, измерение давления производится при поддержании чувствительного элемента при постоянной температуре 45°C, что приводит к компенсации изменений в условиях окружающей среды и пониженному осаждению продуктов обработки и побочных продуктов, применяемых в процессе работы.
Контроллер VGC50Х выполнен в трех модификациях: VGC501- одноканальный, VGC502
- двухканальный, VGC503 - трехканальный.
Пломбирование вакуумметра мембранно-емкостного CDG не предусмотрено.
Внешний вид преобразователей приведен на рисунках 1-2, внешний вид контроллеров приведен на рисунке 3.
VGC501 VGC502 VGC503
Рисунок 3 - Внешний вид контроллеров VGC501, VGC502, VGC503
Программное обеспечение
Вакуумметры мембранно-емкостные CDG оснащены встроенным программным обеспечением (далее - ПО). Его характеристики приведены в таблице 1.
Встроенное ПО (микропрограмма) - внутренняя программа микропроцессора для нормального функционирования вакуумметра по сбору, обработке и отображению результатов измерений, управления интерфейсом и т.д. ПО реализовано аппаратно и является метрологически значимым. Микропрограмма заносится в программируемое постоянное запоминающее устройство (ППЗУ) вакуумметра предприятием-изготовителем.
Уровень защиты встроенного ПО от преднамеренных и непреднамеренных изменений «средний» по Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметров мембранно-емкостных CDG
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | «VGC50Х Firmware» |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО* | V1.00 |
| * - номер версии ПО должен быть не ниже указанного в таблице |
Уровень защиты встроенного ПО от преднамеренных и непреднамеренных изменений «средний» по Р 50.2.077-2014. Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик вакуумметров мембранно-емкостных CDG
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| CDG025D | CDG045D |
| Диапазон измерений давления, Па | от 0,001 до 10 от 0,001 до 13,3 от 0,001 до 33,3 от 0,01 до 100 от 0,01 до 133 от 0,1 до 1000 от 0,1 до 1333 | от 0,01 до 13 от 0,01 до 33,3 от 0,01 до 66,66 от 0,01 до 133 от 0,1 до 266,66 от 0,1 до 666,6 от 0,1 до 1333 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерений давления, % | ±10 |
Таблица 3 — Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| CDG025D | CDG045D |
| Напряжение питания постоянного тока, В | от 14 до 30 |
| Потребляемая мощность, В • А, не более | | |
| - преобразователя | 1 | 12*; 8** |
| - контроллера | | |
| VGC501 | 45 | |
| VGC502 | 65 | |
| VGC503 | 90 | |
| Г абаритные размеры, мм, не более | | |
| преобразователя | | |
| - диаметр | 55 | 82 |
| - высота | 73 | 115 |
| контроллера VGC501 | | |
| - высота | 84 |
| - ширина | 107 |
| - длина | 204 |
| контроллеров VGC502, VGC503 | 129 |
| - высота | 107 |
| - ширина | 204 |
| - длина | | |
| Масса, кг, не более, | | |
| -преобразователя | 0,4 | 0,9 |
| -контроллера | 0,9 |
| VGC501 | 1 1 |
| VGC502 | 1,1 |
| VGC503 | 1,2 |
| Наименование характеристики | Значение |
| CDG025D | CDG045D |
| Условия эксплуатации: - диапазон рабочих температур окружающей среды, °С - относительная влажность, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +35 | от +15 до +35 |
| 80 от 84 до 106,7 |
| Средний срок службы, лет | 10 |
| Средняя наработка на отказ, ч | 35000 |
| Примечания: * при нагревании; ** при рабочей температуре |
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист паспорта, на корпус контроллера знак наклеивается.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Вакуумметр мембранно-емкостной CDG в составе: Преобразователь абсолютного давления | CDG025D или CDG045D | 1 шт. |
| Контроллер | VGC501 или VGC502 или VGC503 | 1 шт. |
| Кабель | - | 1 шт. |
| Вакуумметры мембранно-емкостные CDG. Паспорт | - | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».
Основные средства поверки:
Датчики давления мембранно-емкостные Баратрон 690А и 698А, регистрационный номер 31851-06;
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.840-2013 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 1 - 1 • 106 Па
ГОСТ 8.107-81 ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне от 110-8 до 1103 Па
МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки»
Техническая документация компании «INFICON AG», Лихтенштейн
72859-18: Описание типа СИСкачать170.7 Кб