Назначение
Интерферометры OptoTL-250 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Описание
Интерферометры построены по вертикальной схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок лазерного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости приемника создается интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Анализ интерференционных картин осуществляется методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.
Опломбирование корпуса интерферометра от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) Fastlnterf версии v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы Fastlnterf расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | FastInterf |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v.1.43.0 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | 72ADBB724304AE87D 27574DBBE1E1805 |
ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометров
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,08 до 1,26 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм - на диаметре до 120 мм включ. | ±0,06 |
| - на диаметре св. 120 до 250 мм | ±0,08 |
| Диапазон измеряемых диаметров, мм | от 25 до 250 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 | 3А |
| Длина волны лазера, нм, не более | 633 |
| Мощность, мВт, не более | 4 |
| Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более | 30 |
| Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В | от 200 до 240 |
| Частота, Гц | от 49 до 51 |
| Масса, кг, не более | 200 |
| Габаритные размеры, мм, не более - длина | 790 |
| - ширина | 590 |
| - высота | 1020 |
| Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С | от +20 до +24 |
| - относительная влажность, % | от 50 до 80 |
| Наименование | Кол-во |
| Интерферометр | 1 шт. |
| Компьютер с ПО | 1 шт. |
| USB-ключ | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
| Методика поверки | 1 экз. |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 65127-16 «Интерферометры OptoTL-250. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в апреле 2016 г.
Основное средство поверки: меры отклонений от плоскостности, рег. № 48279-11.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
Сведения о методе измерений содержатся в документе «Интерферометры OptoTL-250. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
65127-16: Методика поверкиСкачать1.6 Мб
6447-78
