Интерферометры OptoTL-250

ЗАО "Опто-Технологическая Лаборатория", г.С.-Петербург
Скачать

65127-16: Методика поверки

Скачать
1.6 Мб

65127-16: Описание типа СИ

Скачать
89.7 Кб

24.11.24
Интерферометры OptoTL-250

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок	10
Межповерочный интервал / Периодичность поверки	1 год
Найдено поверителей	2

Назначение

Интерферометры OptoTL-250 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.

Описание

Интерферометры построены по вертикальной схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.

Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.

Пучок лазерного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.

В результате интерференции в плоскости приемника создается интерференционная картина в виде полос.

Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Анализ интерференционных картин осуществляется методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.

Опломбирование корпуса интерферометра от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Программное обеспечение

Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) Fastlnterf версии v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы Fastlnterf расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров

Идентификационные данные (признаки)	Значение
Идентификационное наименование ПО	FastInterf
Номер версии (идентификационный номер) ПО	v.1.43.0 и выше
Цифровой идентификатор ПО	72ADBB724304AE87D 27574DBBE1E1805

ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.

Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Технические характеристики

Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометров

Наименование характеристики	Значение
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм	от 0,08 до 1,26
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм - на диаметре до 120 мм включ.	±0,06
- на диаметре св. 120 до 250 мм	±0,08
Диапазон измеряемых диаметров, мм	от 25 до 250
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012	3А
Длина волны лазера, нм, не более	633
Мощность, мВт, не более	4
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более	30
Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В	от 200 до 240
Частота, Гц	от 49 до 51
Масса, кг, не более	200
Габаритные размеры, мм, не более - длина	790
- ширина	590
- высота	1020
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С	от +20 до +24
- относительная влажность, %	от 50 до 80
Наименование	Кол-во
Интерферометр	1 шт.
Компьютер с ПО	1 шт.
USB-ключ	1 шт.
Руководство по эксплуатации	1 экз.
Методика поверки	1 экз.