Назначение
Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1 (далее - Комплекты) относятся к классу мер нанометрового диапазона и предназначены для хранения и передачи единицы длины в диапазоне измерений (0,31 - 31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание
Комплект представляет собой пластину кремния с шестью разными по высоте в диапазоне (0,31 - 31) нм выделенными участками (далее - мерами). Меры состоят из определенного числа ориентированных в направлении кристаллографической плоскости (111) моноатомных ступеней кремния одинаковой высоты. Единица длины, воспроизводимая мерой, измеряется между поверхностями свободными от моноатомных ступеней размерами не менее 1x5 мкм2. В зависимости от особенностей микроскопов Комплект может применяться либо наклеенным на стеклянный пьедестал, либо без него.
fecmo нанесения Знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид комплектов мер высоты СТЕПП-ИФП-1
Технические характеристики
Таблица 1
| Количество мер в Комплекте, шт | 6 |
| Номинальные значения высот мер Комплекта в интервале, нм | 0,31 ± 0,1 1 ± 0,31 3 ± 0,7 5 ± 1 20 ± 1 30 ± 3 |
| Абсолютная погрешность измерений высоты мер при доверительной вероятности 0,95 , нм, не более, в диапазоне: от 0,31 до 20 нм свыше 20 до 31 нм | ±(0,02+29L), где L в мкм ±0,6 |
| Параллельность свободных от моноатомных ступеней поверхностей размерами не менее 1x5 мкм2, ограничивающих меру, нм/мкм, не более | 0,02 |
| Габаритные размеры, мм, не более: |
| - Комплекта без пьедестала | 2x10x0,4 |
| - пьедестала | 10x10x1,5 |
| - футляра | 75х60х12 |
| Масса Комплекта без пьедестала, кг, не более | 0,00001 |
| Масса Комплекта с пьедесталом, кг, не более | 0,001 |
| Комплекты эксплуатируются в следующих климатических условиях по гр. Д3 ГОСТ Р 52931 со следующими уточнениями: |
| - температура окружающего воздуха, °С | (20 13) |
| - верхний предел относительной влажности при 20 °С без образования конденсата, % | 80 |
| - атмосферное давление, кПа | (100155) |
| - класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1, не более | 3 ИСО |
| При эксплуатации Комплектов в вакууме: |
| - температура держателя образца, °С | 201 |
| - значение давления остаточных газов в камере микроскопа, Па | От 1-10-8 до 270 |
| Средний срок службы, лет, не менее | 7 |
| Средняя наработка на отказ, ч, не менее | 4000 |
Знак утверждения типа
наносится на этикетку на футляре, на титульный лист паспорта и руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 2
| Обозначение | Наименование | Кол-во | Примечание |
| ИФП3293-01 | Стеклянный пьедестал для крепления Комплекта | 1 | |
| - | Футляр | 1 | |
| ИФП3293 ПС | Паспорт | 1 | |
| ИФП3293 РЭ | Руководство по эксплуатации | 1 | |
| ИФП3293МП | Методика поверки | 1 | |
Поверка
осуществляется по документу ИФП3293МП «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «СНИИМ» в сентябре 2011 г.
Эталоны, применяемые при поверке: мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГОСРЕЕСТР СИ 41678-09), погрешность измерений ± 0,0005 мкм при доверительной вероятности 0,95; Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra Vita (ГОСРЕЕСТР СИ 28664-10).
Сведения о методах измерений
ИФП3120РЭ Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Руководство по эксплуатации
Нормативные документы
ИФП СО РАН.01.011ТУ «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Технические условия»;
«Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки».
Рекомендации к применению
При выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
