Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500

Основные
Тип JIB-4500
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 650 п. 06 от 24.08.2012
Номер сертификата 47772
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Япония 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.

Описание

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне измерений микро- и наноразмеров.

Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом для их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.

Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки.

Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.

Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений

Multi Beam System Control Program

1.04

BA7A1O6561F93C5E9 46D513EA6D3155C44 6B292ECC7AC714A69 466220DC0F68F

ГОСТ Р 34.11-94

Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового JIB-4500

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм

от 0,1 до 1000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, %:

- в диапазоне от 0,1 до 0,2 мкм

- в диапазоне от 0,2 до 0,4 мкм

- в диапазоне от 0,4 до 1000 мкм

±11

±7 ±5

Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец - кремний), нм, не более

25

Разрешение при возбуждении электронным пучком и ускоряющем напряжении 30 кВ, нм

2,5

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

220+22-33

Потребляемая мощность, кВ^А

4,7

Масса, кг

1000

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

1820х1100х1700

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, не более, %

- атмосферное давление, кПа

20±5 95 84^107

Знак утверждения типа

наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.

Сведения о методах измерений

Техническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 фирмы

«JEOL», Япония»

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Рекомендации к применению

- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание