Назначение
Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии микрорельефа поверхности твердотельных материалов и проведения локальной структурной модификации поверхности твердотельных объектов ионным пучком.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему, выполненную на базе растрового электронного микроскопа и работающую в диапазоне измерений микро- и наноразмеров.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), ионной колонны с галлиевым жидкометаллическим источником ионов, камеры образцов с механизмом для их перемещения, детектора вторичных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока электроники.
Вакуумная система включает в себя турбомолекулярный и форвакуумный насосы для откачки рабочей камеры микроскопа и гетероионный насос для обеспечения вакуума в области ионной пушки.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных электронов, возникающих при сканировании сфокусированного электронного или ионного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Наличие сфокусированного ионного зонда позволяет производить локальное контролируемое травление образца ионным пучком, при этом режимы травления регулируются изменением ускоряющего напряжения и тока ионного пучка. Контроль параметров рельефа, модифицированного в результате ионного травления (измерение линейных размеров) осуществляется в режиме растрового электронного микроскопа.
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений | Multi Beam System Control Program | 1.04 | BA7A1O6561F93C5E9 46D513EA6D3155C44 6B292ECC7AC714A69 466220DC0F68F | ГОСТ Р 34.11-94 |
Рис.1. Общий вид микроскопа электронно-ионного растрового JIB-4500
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров элементов топологии, мкм | от 0,1 до 1000 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров элементов топологии, %: - в диапазоне от 0,1 до 0,2 мкм - в диапазоне от 0,2 до 0,4 мкм - в диапазоне от 0,4 до 1000 мкм | ±11 ±7 ±5 |
| Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец - кремний), нм, не более | 25 |
| Разрешение при возбуждении электронным пучком и ускоряющем напряжении 30 кВ, нм | 2,5 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В | 220+22-33 |
| Потребляемая мощность, кВ^А | 4,7 |
| Масса, кг | 1000 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | 1820х1100х1700 |
| Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, кПа | 20±5 95 84^107 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Микроскоп электронно-ионный растровый JIB-4500 фирмы
«JEOL», Япония»
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
25234-03
