Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300

Основные
Тип
Зарегистрировано поверок 4
Найдено поверителей 1

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, а также суспензий микро- и наночастиц, нанесенных на полимерную или углеродную пленку-подложку.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на прохождении параллельного пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светлотемнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.

Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.

Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.

Пломбирование микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300 не предусмотрено.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300

Программное обеспечение

Программное обеспечение (ПО) «Titan» является специализированным ПО микроскопа и предназначено для его управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Titan» не может быть использовано отдельно от микроскопа.

Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

Идентификационные данные (признаки)

Значение

Идентификационное наименование ПО

Titan

Номер версии (идентификационный номер) ПО

1.6.4

Цифровой идентификатор ПО

c7477b08еa314е3d2b2c65е435

890d2е3213dc52d306644bbad1

3f8625a994a8

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,0003 до 10

Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 300кВ

-    в диапазоне от 0,0003 мкм до 0,05 включ. мкм, нм

-    в диапазоне от св. 0,05 мкм до 1 мкм включ., %

-    в диапазоне от св. 1 мкм до 10 мкм, %

(где L - линейный размер, нм)

±(0,4+0,06L)

±6

±4

Диапазон регулировки увеличений, крат

от 45 до 1550000

Значения ускоряющего напряжения, кВ

200, 300

Напряжение питания от трехфазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В

от 340 до 400

Максимальная потребляемая мощность, кВ-А

10

Габаритные размеры (длина х ширина х высота) основных блоков, мм, не более:

-    консоль микроскопа с колонной

-    стойка TEM/Acc

-    стойка питания микроскопа

-    генератор высокого напряжения

-    система охлаждения

1430 х 2140 х 235 700x800x1800 1200х600х1300 880х760х1990 680х660х860

Условия эксплуатации:

о/~'

-температура окружающего воздуха, С - относительная влажность воздуха, %, не более

от +19 до +21 80

Знак утверждения типа

наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность

Комплектность представлена в таблице 3.

Таблица 3

Наименование

Количество

Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300

1 шт.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Методика поверки

1 экз.

Поверка

осуществляется по документу МП 69049-17 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 07.08.2017 г.

Основные средства поверки:

- Государственный стандартный образец параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния ГСО 10030-2011.

Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.

Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.

Сведения о методах измерений

приведены в эксплуатационном документе.

Нормативные документы

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Развернуть полное описание