Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300

Основные
Тип TITAN 80-300
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 23 от 20.01.12 п.04
Класс СИ 27.01
Номер сертификата 45186
Срок действия сертификата . .
Страна-производитель  Нидерланды 
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку).

Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследованиях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на получении увеличенного изображения объекта с помощью пучка электронов, просвечивающих исследуемый объект. Так как объект должен быть прозрачен для электронов, то исследоваться могут ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы. Система магнитных линз микроскопа управляет электронным пучком (аналогично работе оптических линз в оптических микроскопах) и формирует электронно-микроскопическое изображение объекта на ПЗС-матрице или экране, покрытом слоем люминофора. Изображение формируется из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также (в случае просвечивания кристаллического вещества) и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного пучка микроскопа.

Методы электронной дифракции реализуются путем регулирования токов магнитных линз и введения в колонну микроскопа селекторных диафрагм. Эти методы дают информацию о наличии или отсутствии кристаллической структуры у выбранного микроучастка образца, о типе кристаллической решетки, а также позволяют рассчитать межплоскостные расстояния в микрокристаллах путем сравнения полученных дифракционных картин (электронограмм) с электронограммами тонкопленочных образцов с известным составом и кристаллической структурой.

Дополнительные аналитические модули микроскопа - энергодисперсионый спектрометр характеристического рентгеновского излучения и спектрометр характеристических потерь энергии электронов - позволяют реализовать методы анализа локального элементного состава исследуемых образцов.

Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300

В состав микроскопа входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены ниже.

Наименование программного обеспечения

Идентификационное наименование    про

граммного обеспечения

№ве рсии ПО

Цифровой идентификатор   про

граммного обеспечения (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

Пакет управления фотокамерами и обработки изображений Digital Micrograph

EditingTool.dll

Numerical.dll

DMUtility.gtk

3.8.2

c359a09fa92cca774b7e682b85c892eb

49a6e0b8da6060a8852d41d03fa40255

5350a61e81fb25ba291b5217a49d0e47

Программа md5sum

Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».

Технические характеристики

Таблица 1

Диапазон измерения геометрических расстояний, мкм

4-10—4..100

Пределы допускаемой погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 200 кВ*:

в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, %

в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, %

в диапазоне (4-10-4.0,05) мкм при измерении абсолютных размеров (L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм

± 3%

± 7%

± (2+0,07L)

Диапазон регулировки увеличения, крат

от 50 до 1 500 000

Значения ускоряющего напряжения, кВ

80..300

Номинальное напряжение сети питания (трехфазной), В

38032

Максимальная потребляемая мощность, кВ •А

10

Габаритные размеры основных блоков не более, мм

консоль микроскопа + колонна стойка ТЕМ/Асс

стойка питания микроскопа генератор высокого напряжения система охлаждения

1430x2140x235 700x800x1800 1200x600x1300 880x760x1990 680x660x860

Условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, ° C - относительная влажность воздуха, %

(20 ± 0,2) (65 ± 15)

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.

Комплектность

1. Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 - 1экз.;

2. Комплект ЗИП и расходные материалы                   - 1 компл.;

3. Руководство по эксплуатации                              - 1 шт.;

4. Методика поверки                                         - 1 экз.

Поверка осуществляется по документу МП 48831-12 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2011 года.

Основными средствами поверки являются:

Мера длины рельефная МПУ278нм (Госреестр №47524-11)

Сведения о методах измерений

Сведения отсутствуют

Нормативные документы

1. Техническая документация фиры-изготовителя

Рекомендации к применению

Развернуть полное описание