Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультраструктуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-подложку).
Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследованиях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.
Описание
Принцип действия микроскопа основан на получении увеличенного изображения объекта с помощью пучка электронов, просвечивающих исследуемый объект. Так как объект должен быть прозрачен для электронов, то исследоваться могут ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы. Система магнитных линз микроскопа управляет электронным пучком (аналогично работе оптических линз в оптических микроскопах) и формирует электронно-микроскопическое изображение объекта на ПЗС-матрице или экране, покрытом слоем люминофора. Изображение формируется из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также (в случае просвечивания кристаллического вещества) и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного пучка микроскопа.
Методы электронной дифракции реализуются путем регулирования токов магнитных линз и введения в колонну микроскопа селекторных диафрагм. Эти методы дают информацию о наличии или отсутствии кристаллической структуры у выбранного микроучастка образца, о типе кристаллической решетки, а также позволяют рассчитать межплоскостные расстояния в микрокристаллах путем сравнения полученных дифракционных картин (электронограмм) с электронограммами тонкопленочных образцов с известным составом и кристаллической структурой.
Дополнительные аналитические модули микроскопа - энергодисперсионый спектрометр характеристического рентгеновского излучения и спектрометр характеристических потерь энергии электронов - позволяют реализовать методы анализа локального элементного состава исследуемых образцов.
Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300
В состав микроскопа входит специализированное программное обеспечение, идентификационные данные которого приведены ниже.
| Наименование программного обеспечения | Идентификационное наименование про граммного обеспечения | №ве рсии ПО | Цифровой идентификатор про граммного обеспечения (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
| Пакет управления фотокамерами и обработки изображений Digital Micrograph | EditingTool.dll Numerical.dll DMUtility.gtk | 3.8.2 | c359a09fa92cca774b7e682b85c892eb 49a6e0b8da6060a8852d41d03fa40255 5350a61e81fb25ba291b5217a49d0e47 | Программа md5sum |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений в соответствии с МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».
Технические характеристики
Таблица 1
| Диапазон измерения геометрических расстояний, мкм | 4-10—4..100 |
| Пределы допускаемой погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 200 кВ*: в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, % в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, % в диапазоне (4-10-4.0,05) мкм при измерении абсолютных размеров (L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм | ± 3% ± 7% ± (2+0,07L) |
| Диапазон регулировки увеличения, крат | от 50 до 1 500 000 |
| Значения ускоряющего напряжения, кВ | 80..300 |
| Номинальное напряжение сети питания (трехфазной), В | 38032 |
| Максимальная потребляемая мощность, кВ •А | 10 |
| Габаритные размеры основных блоков не более, мм консоль микроскопа + колонна стойка ТЕМ/Асс стойка питания микроскопа генератор высокого напряжения система охлаждения | 1430x2140x235 700x800x1800 1200x600x1300 880x760x1990 680x660x860 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, ° C - относительная влажность воздуха, % | (20 ± 0,2) (65 ± 15) |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
1. Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 - 1экз.;
2. Комплект ЗИП и расходные материалы - 1 компл.;
3. Руководство по эксплуатации - 1 шт.;
4. Методика поверки - 1 экз.
Поверка осуществляется по документу МП 48831-12 «Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в октябре 2011 года.
Основными средствами поверки являются:
Мера длины рельефная МПУ278нм (Госреестр №47524-11)
Сведения о методах измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные документы
1. Техническая документация фиры-изготовителя
Рекомендации к применению
54030-13
