Назначение
Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50, (далее - микроскоп Inspect S50) предназначен для измерений линейных размеров, формы, ориентации и других параметров наноструктур и микрорельефа поверхностей различных объектов.
Для решения прикладных задач микроскоп Inspect S50 возможно совместить с рентгеновским микроанализатором.
Описание
Принцип работы микроскопа Inspect S50 основан на физических эффектах взаимодействия сфокусированного пучка электронов с поверхностью объекта (образца). Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько сигналов и формируется конкретное изображение в зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен.
Микроскоп Inspect S50 измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
Микроскоп Inspect S50 представляет собой лабораторный прибор, состоящий из основной консоли, включающей электроно-оптическую колонну; камеру образцов; вакуумной системы; блока электроники, включающего модули сканирования и обнаружения, и управляющего (серверного) компьютера типа IBM PC с программным обеспечением.
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка микроскопа Inspect S50 с термо-эмиссионным вольфрамовым катодом.
Микроскоп Inspect S50 работает в двух операционных вакуумных режимах: высокого вакуума (HiVac) и низкого вакуума (LoVac). Ваккуумная система микроскопа Inspect S50 полностью автоматизирована.
Микроскоп Inspect S50 укомплектован следующими детекторами, позволяющими получать электронно-микроскопические изображения: детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (EDT) и детектор вторичных электронов в режиме низкого вакуума (LFD), которые позволяют получать изображения с топографическим контрастом, и 4-х сегментный твердотельный детектор обратно-рассеяных электронов (BSED), предназначенный для получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему атомному номеру.
Предметный столик камеры образцов моторизирован по 4 осям (X, Y, Z и вращение) с углом наклона от минус 15° до 75°. Все движения предметного столика задаются и контролируются программным обеспечением микроскопа Inspect S50. Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей: держателя для одного образца, который крепится непосредственно к предметному столику, и держателя для нескольких образцов.
Управление микроскопом Inspect S50, его настройка и обработка данных измерений осуществляются с помощью мышки и клавиатуры серверного компьютера со специализированным программным обеспечением Inspect S, подключаемым к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор управляющего компьютера, сохранены в компьютере или выведены на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы микроскопа Inspect S50 соответствующей команды.
Общий вид микроскопа Inspect S50 представлен на рисунке 1.
Схема пломбировки от несанкционированного доступа представлена на рисунке 2.
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения микроскопа Inspect S50 приведены в таблице 1.
Уровень защиты программного обеспечения (ПО) микроскопа Inspect S50 «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние ПО учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик микроскопа Inspect S50.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | xTm |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | 4.1.13.2167 |
| Цифровой идентификатор ПО | e3766bf9f9c518030476c1d502d904cd |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | MD5 |
| Первичный файл серверной части основного модуля интерфейса ПО | fei systemcontrol. exe |
| Идентификационное наименование основного модуля интерфейса ПО | xT Microscope Server |
| Идентификационное наименование модуля пользовательского интерфейса ПО | xT Microscope Control (xTUl) |
| Идентификационные наименования элементов (модулей) интерфейса ПО | xT Microscope Server / xT Microscope Control / FEI User Management |
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений линейных размеров, нм | от 300 до 2103 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % | ±3 |
| Разрешение, нм | 3,0 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон регулирования увеличения, крат | от 13 до 1000000 |
| Давление в камере, Па, не более | 110-2 |
| Параметры электрического питания: | |
| - питающее напряжение, В | 220±10% |
| - частота, Гц | 50 |
| Габаритные размеры, мм, не более: | |
| - длина | 2170 |
| - ширина | 1215 |
| - высота | 1570 |
| Масса, кг, не более | 841 |
| Условия эксплуатации: | |
| - температура окружающего воздуха, °С | от +15 до +25 |
| - относительная влажность воздуха, %, не более, без конденсата | 80 |
| Средний срок службы, лет, не менее | 10 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4
| Наименование | Обозначение | Количество |
| Микроскоп электронный сканирующий | Inspect S50 | 1 шт. |
| Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения | | 1 шт. |
| Методика поверки | МП 78-223-2015 | 1 экз. |
Поверка
осуществляется по документу МП 78-223-2015 «ГСИ. Микроскоп электронный сканирующий Inspect S50. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 22.03.2017 г.
Основные средства поверки:
Рабочий эталон единицы длины 4-го разряда по ГОСТ Р 8.763-2011, диапазон от 1 до 2103 нм, ПГ ±(2-3) нм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде клейма.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
ГОСТ Р 8.763-2011 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 110-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм
Техническая документация изготовителя «FEI Company», Czech Rebublic
67731-17: Методика поверки МП 78-223-2015Скачать6.3 Мб
54030-13
