Назначение
Спектрометры многофункциональные рентгеновские фотоэлектронные Escalab 250Xi (далее - приборы) предназначены для измерений зависимостей тока фотоэлектронов от энергии связи или кинетической энергии этих электронов.
Описание
Принцип действия приборов основан на явлении испускания электронов характеристических энергий твердым объектом под воздействием электромагнитного излучения рентгеновского диапазона (рентгенофотоэлектронная эмиссия). Исследуемый объект, помещенный в сверхвысоковакуумную камеру облучают рентгеновским излучением (линии характеристического излучения алюминия Al Ка или Mg Ка с последующей монохроматизацией или без в зависимости от комплектации). Электроны, выходящие из поверхностного слоя исследуемого объекта, поступают в электронный спектрометр, который позволяет регистрировать зависимость тока фотоэлектронов от их кинетической энергии (либо от энергии связи электронов в твердом теле).
Приборы состоят из сверхвысоковакуумной камеры, рентгеновского источников возбуждения, ионных пушек для очистки и травления поверхности образца, электронного спектрометра, специальной электронной низковольтной пушки для компенсации заряда объектов с низкой электропроводностью, блока управления, компьютера и интерфейса, связывающего блок управления спектрометром.
Рисунок 1. Общий вид многофункционального рентгеновского фотоэлектронного спектрометра Escalab 250Xi.
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентиф икаци-онное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия | Thermo Avantage Surface Chemical Analysis | v.5.35 | 3B9601AE9553E258 B963E63C0FD09939 6B742CC3458E0270 27FDF502683FCC2D | ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений кинетических энергий электронов, эВ, не менее | 1486,6 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений кинетической энергии фотоэлектронов (энергии связи), эВ | ± 0,1 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений кинетической энергии фотоэлектронов (энергии связи) с использованием внутреннего стандарта в условиях повторяемости, мэВ | ± 5 |
| Отклонение от линейности шкалы кинетической энергии фотоэлектронов, мэВ | ±50 |
| Абсолютное энергетическое разрешение (полная ширина линии на половине высоты) на линии серебра Ag3d5/2, эВ, не более | 0,45 |
| Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 при использовании пятна возбуждающего излучения размером 400 мкм и абсолютном энергетическом разрешении на линии Ag3d5/2 не хуже 1,0 эВ), имп/с, не менее | 2 500 000 |
| Абсолютное энергетическое разрешение на линии (O-C=O) в полиэтиленте-рефталате эВ, не более | 0,82 |
| Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) на линии (С-С в полиэтиленте-рефталате при абсолютном энергетическом разрешении на линии на линии (O-C=O) не более 0,85, имп/с, не менее | 60 000 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой , (50±1) Гц, В | 220 ± 10 |
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 950x3000x2090 |
| Масса, кг, не более | 1200 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающее среды, оС 22 ± 1 - максимальное изменение температуры за 8 часов, оС 1 - атмосферное давление, кПа 101,0 ± 1,4 - относительная влажность воздуха, %, не более 65 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на прибор и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: спектрометр рентгеновский фотоэлектронный многофункциональный Escalab 250Xi, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 51312-12 «Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные многофункциональные Escalab 250Xi фирмы Thermo Fisher Scientific, Великобритания. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в августе 2012 г.
Средства поверки: серебро марки Ср 99,2 по ГОСТ 6836-2002, золото марки Зл 99,99 по ГОСТ 6835-2002, пленка полиэтилентерефталата ПЭТ Э 50х80 по ГОСТ 24234-80, медь марки М0к по ГОСТ 859-2001.
Сведения о методах измерений
Руководство оператора «Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный многофункциональный Escalab 250Xi. Руководство оператора», раздел 4.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
39695-08
