Назначение
Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные многофункциональные Theta Probe (далее - приборы) предназначены для измерений зависимостей тока фотоэлектронов от энергии связи или кинетической энергии этих электронов.
Описание
Принцип действия приборов основан на явлении испускания электронов характеристических энергий твердым объектом под воздействием электромагнитного излучения рентгеновского диапазона (рентгенофотоэлектронная эмиссия). Исследуемый объект, помещенный в сверхвысоковакуумную камеру облучают рентгеновским излучением. Электроны, выходящие под действием этого облучения из поверхностного слоя исследуемого объекта, поступают в электронный спектрометр, который позволяет регистрировать зависимость тока фотоэлектронов от их кинетической энергии (либо от энергии связи электронов в твердом теле) с угловым разрешением в параллельном режиме.
Приборы состоят из сверхвысоковакуумной камеры, рентгеновского источников возбуждения, ионных пушек для очистки и травления поверхности образца, электронного спектрометра, блока управления, компьютера и интерфейса, связывающего блок управления спектрометром.
Рисунок 1. Общий вид спектрометров рентгеновских фотоэлектронных многофункциональных Theta Probe.
Программное обеспечение
Управление приборами осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
| Наименование ПО | Идентификационное наименование ПО | Номер версии ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) | Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
| Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия | Thermo Avantage Surface Chemical Analysis | v.5.35 | 3B9601AE9553E258B 963E63C0FD099396B 742CC3458E027027F DF502683FCC2D | ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений кинетической энергии электронов, эВ, не менее | 1486,6 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений кинетической энергии фотоэлектронов (энергии связи), эВ | ± 0,1 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений кинетической энергии фотоэлектронов (энергии связи) с использованием внутреннего стандарта в условиях повторяемости, мэВ | ± 5 |
| Отклонение от линейности шкалы кинетической энергии фотоэлектронов, мэВ | ±50 |
| Абсолютное энергетическое разрешение (полная ширина линии на половине высоты) на линии серебра Ag3d5/2, эВ, не более | 0,46 |
| Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 при использовании пятна возбуждающего излучения размером 400 мкм и абсолютном энергетическом разрешении на линии Ag3d5/2 не хуже 1,0 эВ), имп/с, не менее | 300 000 |
| Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В | 220 ± 10 |
| Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более | 950x1800x2000 |
| Масса, кг, не более | 750 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - максимальное изменение температуры за 8 часов, оС - атмосферное давление, кПа - относительная влажность воздуха, %, не более | 22 ± 1 1 101,0 ± 1,4 65 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на прибор и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: спектрометр рентгеновский фотоэлектронный многофункциональный Theta Probe, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 51311-12 «Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные многофункциональные Theta Probe фирмы Thermo Fisher Scientific, Великобритания. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ в августе 2012 г.
Средства поверки: серебро марки Ср 99,2 по ГОСТ 6836-2002, золото марки Зл 99,99 по ГОСТ 6835-2002, медь марки М0к по ГОСТ 859-2001.
Сведения о методах измерений
Руководство оператора «Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный многофункциональный Theta Probe. Руководство оператора», раздел 2.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
22047-01
