Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные с модулем оже-спектроскопии AXIS ULTRA DLD. Характеристики, описание, методика поверки.
Госреестр средств измерений РФ на основании сведений из ФГИС “АРШИН”

Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные с модулем оже-спектроскопии AXIS ULTRA DLD

Основные
Тип AXIS ULTRA DLD
Год регистрации 2012
Дата протокола Приказ 775 п. 48 от 21.09.2012
Номер сертификата 48212
Срок действия сертификата ..
Страна-производитель  Великобритания 
Тип сертификата (C - серия/E - партия) E

Назначение

Спектрометр рентгеновские фотоэлектронные AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии (далее - приборы) предназначены для измерений зависимостей тока фото- и оже-электронов от энергии связи или кинетической энергии данных электронов, а также получения увеличенных изображений исследуемого объекта в режиме сканирующего электронного микроскопа.

Рис. 1. Общий вид спектрометров рентгеновских фотоэлектронных AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии.

Описание

Принцип действия приборов основан на явлениях испускания электронов характеристических энергий твердым объектом под воздействием электромагнитного излучения ультрафиолетового и рентгеновского диапазона (фото- и рентгенофотоэлектронная эмиссия) и электронного облучения электронами с энергией от 3 до 10 кэВ (оже-электронная эмиссия).

В режиме рентгенофотоэлектронной спектрометрии исследуемый объект, помещенный в сверхвысоковакуумную камеру облучают электромагнитным излучением ультрафиолетового или рентгеновского диапазона (характеристическое излучение Al или Mg ). Электроны, выходящие из поверхностного слоя исследуемого объекта, поступают в электронный спектрометр, который позволяет регистрировать зависимость тока фотоэлектронов от их кинетической энергии (или от энергии связи электронов в твердом теле). В режиме оже-электронной спектрометрии информативный сигнал возбуждают пучком электронов с энергией в несколько килоэлектронвольт. При этом в спектрометр поступают возникающие в этом случае вторичные электроны, в том числе оже-электроны, имеющие характеристические энергии.

Приборы состоят из сверхвысоковакуумной камеры, электронного и рентгеновских источников возбуждения, ионных пушек для очистки поверхности образца, электронного спектрометра, стойки управления, ПЭВМ и интерфейса, связывающего ПЭВМ и стойку управления спектрометром.

Программное обеспечение

Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование

ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма)

Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО

Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений, версия

Vision 2.2.8 for Windows XP

CDR6000

AG Rev 0

2744248671643852C

B699B98F33C35C64

A696582BE72D49D7

B0B91BF61313501

ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон регистрируемых энергий электронов, эВ, не менее

3000

Пределы допускаемой погрешности измерений энергии фото- и оже-электронов при стабилизированной температуре окружающей среды (22 ± 0,5) оС, мэВ

± 5

Пределы допускаемой погрешности измерений энергии фото- и оже-электронов при температуре окружающей среды (22 ± 5) оС, мэВ

± 20

Энергетическое разрешение на линии серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 10 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), эВ, не более

0,48

Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 10 эВ, энергетическое разрешение 0,48 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), имп/с, не менее

75000

Энергетическое разрешение на линии серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), эВ, не более

0,60

Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, энергетическое разрешение 0,6 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), имп/с, не менее

250000

Энергетическое разрешение на линии серебра Ag3d5/2 для Mg - анода полихроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 30 мА, энергия пропускания 20 эВ, размер анализируемой области 110 мкм), эВ, не более

0,80

Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) серебра Ag3d5/2 для Mg - анода полихроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, энергетическое разрешение 0,80 эВ, размер анализируемой области110 мкм), имп/с, не менее

1200000

Наименование характеристики

Значение

Энергетическое разрешение на линии (O-C=O) в полиэтилентерефталате для Al - анода монохроматического источника (напряжение на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, размер анализируемой области 700^300 мкм), эВ, не более

0,68

Интенсивность линии (ток фотоэлектронов) на линии (С-С, C-H) в полиэтилентерефталате для Al - анода монохроматического источника (напряжения на источнике 15 кВ, ток 40 мА, энергия пропускания 20 эВ, энергетическое разрешение 0,68 эВ, размер анализируемой области 700x300 мкм), эВ, не более

16000

Отношение сигнал/шум при регистрации оже-электронов (энергия пуска первичных электронов 10 кэВ, ток 5 нА) на линии меди Cu LMM, не менее

500

Пространственное разрешение (ширина кривой набегания от уровня 20% до уровня 80% от максимального значения в режиме регистрации вторичных электронов при ускоряющем напряжении 10 кВ и токе пучка электронов 5 нА), нм, не более

100

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм, не более

950x3000x2090

Масса, кг, не более

1200

Условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, оС

- максимальное изменение температуры за 1 час, оС

- атмосферное давление, кПа

- относительная влажность воздуха, %, не более

- напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

- скорость вибраций в полосе частот от 1 до 100 Гц, мм/с, не более

- амплитуда переменного магнитного поля в полосе частот от 5 до 200 кГц, Тл, не более

- индукция постоянного магнитного поля, мТл, не более

22 ± 5

1 101,0 ± 1,4 65 220 ± 10

12,5

2П0-6 0,1

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на прибор и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский фотоэлектронный AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 51313-12 «Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии фирмы «Kratos Analytical Limited» (Великобритания). Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в июне 2012 г.

Средства поверки: серебро марки Ср 99,2 по ГОСТ 6836-2002, медь марок М0к, М1к или М2к по ГОСТ 859-2001, полиэтилентерефталат ориентированный толщиной 50 мкм марки ES301250 фирмы «Goodfellow Cambridge Ltd.», Великобритания, сетка для электронной микроскопии золотая специальной формы NHF15A фирмы «PLANO GmbH», Германия.

Сведения о методах измерений

Руководство оператора «KRATOS AXIS ULTRA DLD», раздел 3.

Нормативные документы

Техническое описание «Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный AXIS ULTRA DLD с модулем оже-спектроскопии фирмы Kratos Analytical Limited, Великобритания».

Рекомендации к применению

Применяются вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.

Развернуть полное описание