Назначение
Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120 (далее ПЭМ Libra) предназначен для измерения геометрических расстояний и размеров элементов тонкой субмикронной структуры твердотельных материалов.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а так же в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
Описание
ПЭМ Libra представляет собой стационарную измерительную систему.
ПЭМ Libra формирует пучок электронов с энергией до 120 кэВ для непосредственного просвечивания объекта. В качестве объектов, прозрачных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др. Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение объекта в проходящих электронах. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная освещенность, возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического вещества, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микроскопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронно-микроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие углы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного изображения.
ПЭМ Libra оснащен гониометрическим держателем препаратов. Насос высокого вакуума является безмасляным.
Программное обеспечение ПЭМ Libra защищено от несанкционированных изменений.
Технические характеристики
| Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 120 кВ, нм | 0,2 |
| Диапазон регулировки увеличения | 8+630 000 |
| Диапазон измерения геометрических расстояний, мкм | 100+4-1 О'4 |
| Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения геометрических расстояний при ускоряющем напряжении 120 кВ*: в диапазоне (100+0,4) мкм при измерении абсолютных размеров в диапазоне (100+0,4) мкм при сличении геометрических расстояний в режиме компаратора в диапазоне (0,4+4-1 О'4) мкм при измерении абсолютных размеров в диапазоне (0,4+4-1 О'4) мкм при сличении геометрических расстояний в режиме компаратора | ±7% ± 0,5% ± 25% ± 10% |
| Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ | 80 или 120 |
| Номинальное напряжение трехфазной сети питания, В | 360-420 |
| Максимальная потребляемая мощность, кВ-А | 13 |
| Габаритные размеры основных блоков не более, мм стенд с колонной, блок питания высоковольтный блок блок управления блок охлаждения | 1400x1960x2440 800x720x1560 550x780x1270 930x530x1930 680x680x1480 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %.................................... | (22 ± 0,2) (40 ± 2) |
| Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг | 2615 |
* Погрешность измерения при сличении геометрических размеров в режиме компаратора определяется техническими возможностями самого ПЭМ Libra. Погрешность при измерении абсолютных размеров в значительной степени определяется точностью передачи единицы длины с помощью утвержденных и применяемых мер длины соответствующего диапазона.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входят:
1. Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120 - 1экз.;
2. Комплект ЗИП и расходные материалы -1 компл.;
3. Руководство по эксплуатации -1 шт.
Поверка
Поверка ПЭМ Libra осуществляется в соответствии с документом «Микроскоп электронный просвечивающий Libra 120. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в 2010 г.
Основные средства поверки:
• Мера периода рельефная S106 (Госреестр № 44966-10)
• Мера рельефная графитовая S140 (Госреестр № 44968-10)
Межповерочный интервал - один год.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Carl Zeiss, Inc», Германия.
Заключение
Тип микроскопа растрового электронного просвечивающего Libra 120 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
27376-04
