Назначение
Микроскоп растровый электронный NVision 40 (далее РЭМ NVision) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Микроскоп применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а также в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
Описание
РЭМ NVision представляет собой стационарную измерительную систему.
Принцип работы растрового электронного микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопа, отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того, какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскоп формирует то или иное конкретное изображение.
РЭМ NVision измеряет длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности объекта.
РЭМ NVision укомплектован тремя детекторами, позволяющими получать электронномикроскопические изображения. Это два детектора вторичных электронов, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
РЭМ NVision оснащен двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
Программное обеспечение РЭМ NVision защищено от несанкционированного доступа.
Технические характеристики
| Разрешающая способность, мкм | 1,8-10’3 |
| Диапазон регулировки увеличения | 20-900 000 |
| Диапазон измерений линейных размеров, мкм | 2-10'2+2-103 |
| Пределы допускаемой основной абсолютной погрешности измерения линейных размеров по осям X иУ не более, нм | (4+0,051?) |
| Номинальное напряжение сети питания, В | 220 ± 5% |
| Максимальная потребляемая мощность, кВ-А | 3,6 |
| Габаритные размеры основных составных частей не более, мм стенд с колонной, агрегатом вакуумным блок питания | 2335x980x1740 800x600x1430 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °C.................................. - относительная влажность воздуха, %.................................... - избыточное давление воздуха в помещении относительно атмосферного давления, Па........................................................... | (22 ± 0,2) (40 ± 2) (30 ± 0,3) |
| Общая масса без ЗИП и упаковки не более, кг | 1520 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность
В комплект поставки входят:
1. Микроскоп электронный растровый NVision 40 - 1экз.;
2. Комплект ЗИП и расходные материалы -1 компл.;
3. Руководство по эксплуатации -1 шт.
Поверка
Поверка РЭМ NVision осуществляется в соответствии с ГОСТ Р 8.631-2007 «ГСИ.
Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Межповерочный интервал - один год.
1 L - длина измеряемого объекта в нм
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Carl Zeiss, Inc», Германия.
Заключение
Тип микроскопа растрового электронного NVision 40 утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведёнными в настоящем описании типа, и метрологически обеспечен в эксплуатации.
6447-78
